Avantages :
Un rapport prestations/prix imbattable
Une mise en oeuvre rapide et simple, pour tous les formats de 2" à 8"
Une robustesse à toute épreuve.

Utilisation :
La E 460 C a été spécialement conçue pour le polissage de substrats et la planarisation des plaquettes de diamètre de 2" à 8".
Elle est très bien adaptée à la Recherche et Développement et aux petites productions grâce à sa grande flexibilité.
La E 460 C propose 5 steps de polissage, qui ont chacun des paramètres spécifiques. Le chargement est manuel et le process entièrement automatique.
Le bras d'avivage automatique permet de travailler aussi bien ex situ que in situ.
Plateau et portoir peuvent être changés en quelques secondes, ce qui permet d'utiliser la même machine pour différents types de process.
Un raccordement pour le système de détection de fin d'attaque est prévu et implanté sur le panneau arrière.

Caractéristiques :
Face avant :
Le panneau de contrôle est situé au dessus des portes d’accès à la zone de polissage. Par ces portes, l'utilisateur a accès au plateau, au portoir et à l'outil de régénération. C’est par là que l’on charge et décharge les plaquettes.


Armoire de commande :
L'armoire de commande se situe dans la partie haute de la machine et à l'arrière. Un conduit la traverse pour permettre une aspiration d’air.

Face arrière :
On y trouve les pompes à slurry. Elles sont directement accessibles afin de faciliter la manipulation des canalisations souples.