可直接将由 Pcox200 S 处理的流程转移到其他 Pcox 20X 系列机器。
可以并容易地将Pcox200 S 型号升级到Pcox20X系列而不会废弃旧设备
装载和卸除在位于操作员面前的基盘进行。在干燥后对晶圆片的喷洗。

功能介绍
Pcox 200 S 在研究与发展领域的化学抛光应用中占有独特的地位。实际上，它是 Pcox 20X 家族 系列机器的先驱。Pcox 20X 家族系列是一组不同模型的机器，提供包括 2组,3组 或4组抛光模型。Pcox 200 S 是其中的一种，单独工作，用以对抛光流程的设计。

它提供所有生产所需的具体规格：
由计算机和自动化组件 PLC 的完全控制
自动载入或卸除抛光头
多重抛光步骤
兼容从 4 英寸 到 8 英寸的晶圆片
抛光原始位置和随后位置的环境控制
整合的抛光液泵装置
快速换装承载底盘，晶圆托盘和环境控制组件

为了节省空间和成本，采取手动晶圆片装载方式，并提供Pcox 20X 系列机器相同的生产特定规格.

规格描述

紧凑而独立工作的机器
运送货盘由人工装载和卸载
运送货盘提供在晶圆片装卸过程中的缓冲功能
独特的快速换装晶圆托盘
独特的快速换装环境控制装置
独特的快速换装承载基盘
具有大规格的环境控制工具：直径从100毫米到225毫米
抛光基盘直径550毫米
非常开放的系统架构：易于清洗
对来自承载基盘的抛光液溢溅给予保护
整合的真空抽取装置
很小占地：只有0.95米 X 1.12米
无需多余的电力控制橱
易于维护：可推拉的仪器组箱装置件更易装卸和维护
附加对抛光基盘温度调节的系统
内置端点检测界面
一个抛光液泵(三个可供选择)

可供选择

抛光端点检测：DFA2系统
基盘温度控制系统
附加的抛光液泵(多至三个可供选择)
改良的成套工具应对不同直径的晶圆片：4，5，6英寸(内置8英寸)
酸硷度pH控制