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PCox 202 到 Pcox 204

Pcox 20x 系列 CMP设备特别针对高产量半导体生产企业需求而设计：
完美适应特定流程应用(硅树脂, 氧化物, 钨, 铜等)
每单一流程系统下，单位抛光头的高产量。
快速更换周期，源于抛光头, 环境调节工具和基盘/pad的便捷更换。
完美的系统稳定性，由于组件间高兼容性而降低多余库存。
低初始投资。
PCox20x系列设备模块化设计，以及对消耗材料的广泛适应，加之对不同零部件的广泛兼容等优势，使客户放心享用成熟的CMP技术。

抛光垫更换通过基盘更换

抛光垫的更换，可以简便而迅捷地通过更换早已准备好的基盘更换而实现。只需要几分钟，设备就可以在另一种不同模式下工作。

一般的CMP设备的抛光垫更换需要对设备进行清空，并在更换过程中停止生产。在Pcox系列设备，在一种模式工作的同时，就可以为下一个模式进行环境设置。这样就极大地提高了系统更新速度和总产出。

承载托盘和环境调节工具的更换

因为独特的悬挂方式，承载托盘和环境调节工具的去除只需要几分钟。通过使用分离的承载托盘和分离的环境调节工具，插入或继续使用保护环，加上环境工具的更新只需几分钟。




规格

晶圆片规格 4英寸， 5英寸， 6英寸，200毫米槽口型 (可选择平面型
装载 /卸除方式 干燥进入, 潮湿卸除, 3 磁盒. , 伴随. (进出磁盒)
直线传送组件 晶圆片传送：，以及各个抛光模式之间
直线传送组件 Pcox 202: 2 个相同的模式，以不相关的应用和程序设计设置功能

每一模式包括：

一个晶圆片装载基盘和一个晶圆片卸除基盘

清洗过程结合了对晶圆片的喷雾清洗和插入清洗

抛光基盘

抛光臂,

环境控制工具机械臂和控制装置

内部真空系统
抛光液供给 气压系统, 每一个P-COX抛光模式多达3个独立的抛光液供给泵系统

1抛光液供给系统     抛光目的 (标准)

1抛光液供给系统     抛光目的 (可选择)

1抛光液供给系统     环境控制目的(可选择)

抛光液供给泵 0-200 毫升/分钟

PH值和温度测量可选择)
承载基盘 直径     550毫米，AlMg 由辐条车轮支持, 单刃尖清洗系统

转速     15-150 转每分钟

温度管理      10-70°C, (可选择)

IR 传感器
晶圆托盘 200 毫米晶圆片，多向嵌装设计

快速锁定 / 释放以便于晶圆装卸

不锈钢, 外包特氟纶绝缘材料抵抗化学侵蚀

固定环

背面胶膜材料根据客户个性化需要调节

背面压力, 真空, 自抛光托盘供给的DI-水

转速     15-150 转每分钟

背面压力     0-100 kPa

抛光下压力     0-3000N (100 kPa, 1 bar 或 14 psi 在 200 毫米晶圆片)摆动速度     0-0,35 米每秒


环境调节 原始位置或其他位置调节环境, 快速锁定及释放环境组件传送装置

调节装置     钻石环 (标准配备), 钻石磁片 (可选择), 刷子 (可选择)

下压力     10-300N

直径     100-225 毫米

转动速度     10-80 转每分钟

摆动速度     0 – 0.9 米每秒
尺寸 Pcox 202 : 2890x1190x2480 mm (WxDxH) - 占地面积 3,44 m2

热交换器 (可选择)

大约 365x597x622 (WxDxH) (每一模式可选择)
重量 3000 公斤
产量 44晶圆片每小时；处理流程为2分钟 (并列进程)： 5 秒—晶圆片抛光后喷洗； 5秒—装载的晶圆片抛光后的插入清洗。
流程控制 承载基盘和抛光头托盘转动速度

抛光头下压力和背面压力

抛光和环境调节摆动速度, 范围和位置控制l

多抛光液分布和溢流
程序设计 硬盘存储和软盘存储以长期备份

用户引导的数据输入

每一模式有10个可设置的程序进程步骤
设备晶圆片流程 用户自定义模式功能

用户自定义晶圆片在不同模式间的处理顺序:平行, 顺序 或平行加顺续处理进程
控制系统 硬件     工业用计算机, 配有 17“ TFT

          触摸屏和逻辑自动化程序结构(PLC’s),

          内部局域网

软件          图形用户界面

          可自定义的进入等级

          SECS II 界面 (可选择)
基本工作条件 电源     220 或 400 VAC,3-PH, 50/60 Hz

电力供应     2,5 kW 每抛光模式

     2,0 kW 用于自动装卸模式

抛光头发动机     0,75 kW 每模式

基盘发动机     2,2 kW 每模式

环境控制发动机     0,37 kW每模式

压缩空气     6-7 bar

氮气     2 bars

DI-水     1 bar (200 l/h)
安全性 符合CE 标准, 在所有操作员可触及的门都配有安全内部锁

表中所列数据会根据具体设计的变化而调整。

如您想了解更多信息，请联系 ： Vincent Xu